携帯電話、パソコン用モニター、情報家電など、幅広く利用される「液晶ディスプレイ」。
タツモでは、この「液晶ディスプレイ」をはじめとする、各種フラットパネルディスプレイに対応した製造装置を開発、製造、販売しております。これからますます高まる大型化、低コスト化等、お客様からの様々なニーズへ確実にお応えし、大型角基板用スピンコーターのパイオニアとして、その責務を全うしてまいります。また、高精度、かつ高信頼性を誇るタツモの装置は、お客様にとっての付加価値創造に貢献してまいりました。それは、「液晶ディスプレイ」に用いられる「カラーフィルター」製造工程におけるスピンコーターで、世界トップシェアを維持していることなどからも裏付けられております。
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◇TR117000シリーズ
最大1,950×2,250mmの基板サイズに対応した大型角基板用コーティングシステムです。
実績のあるノンスピン方式により、大型対応基板と更なる性能向上と省レジスト・省液・省エネ・省スペースを実現しています。
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◇TR90000シリーズ
最大1,500×1,850mmの基板サイズに対応した大型角基板用コーティングシステムです。
TR63000シリーズ同様、回転カップ、E.B.Rユニット等の削減によりプロセスの簡略化と飛躍的な省レジスト化を実現し、基板の大型化と同時にランニングコストの大幅な削減に対応しています。
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◇TR63000シリーズ
最大1,100×1,300mmの基板サイズに対応した大型角基板用コーティングシステムです。従来の塗布システムを維持しつつ、更なる大型基板への対応を可能にし、トータルコストを低減します。また、スピンレス®ユニットを搭載することにより、プロセスの簡略化と飛躍的な省レジスト化を実現し、イニシャルコスト及びランニングコストの大幅な削減に寄与します。
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◇TR45000シリーズ
最大730×920mmの基板サイズに対応した大型基板用コーティングシステムです。タクトタイムを落とすことなく基板の大型化や塗布性能の改善に対応しており、ランニングコストを低減等、お客様にとりまして大変価値のある装置として活躍してまいりました。これは、カラーフィルター用塗布装置で世界シェアNO.1を維持していることからも裏付けられます。
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◇TR28000シリーズ
450×550mmの基板サイズに対応。材料特性に依存せず、広範な膜形成に対応し、極めて高い膜均一性と安定性を実現します。
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